超高分辨场发射扫描电子显微镜 英文名称： Field emission scanning electron microscope 规格型号： SU8010 所属单位： 苏州大学 仪器原值： 244.38(万元) 启用日期： 2013/12/8 生产厂商： 日立公司 产地国别： JPN.日本 安放地址： 中国,江苏省,苏州市,吴中区 技术指标： 1.电子光学系统: 1.1分辨率： 二次电子像：1.0 nm / 15kV， 1.3 nm / 1kV ； 1.2放大倍率：20-800,000倍； 1.3 加速电压：加速电压：0.5kV ～ 30 kV； 1.4 具有超低电压能力设计或者减速功能； 1.5 电子枪：场发射电子枪； 1.6 工作距离:2-40mm, 能谱仪分析工作距离可近到15mm以下；工作距离:2-40mm, 能谱仪分析工作距离可近到15mm以下； 2.样品室及样品台: 2.1 样品台：单样品台，五孔样品台，多用途样品台； 2.2 五轴 功能及应用领域： 场发射扫描电子显微镜（FESEM）具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。 具有高性能X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。 仪器联系人： 吴祺昶 联系人电话： 025-85485877