电子束曝光制作掩膜 联系人： 时尧成 电话： 88206516转113 邮件： yaocheng@zju.edu.cn 开放时间： 学校正常上班时间 收费标准： 校外1200元/小时 校内600元/小时 服务描述： 1.Accelerating voltage： 5~30 kV2.Minimum line width： 10 nm 3.Overlay Accuracy： 40 nm 4.Field stitching Accuracy: 20 nm 5.Exposure range： 直径75 mm 6.Scan speed：12 MHz to 250 Hz