椭圆偏振光谱仪 分类编码： 990000 英文名称： Ellipsometric spectrometer 规格型号： GES 5E 分　　类： 其他仪器 所属单位： 浙江大学材料科学与工程学院 仪器原值： 145.00(万元) 启用日期： 2011/12/13 生产厂商： Semilab 产地国别： 美国 技术指标： 测量光谱190nm~2100nm 功能及应用领域： 椭圆偏振光谱仪可以实现无损探测大块材料、薄膜以及平面基底上生长或沉积的多层复杂结构的折射率、消光系数、薄膜厚度，并在此基础上实现多层膜厚度、材料梯度、表面与界面粗糙度、结晶度、组分、材料的各向异性、表面形貌等的测量 仪器联系人： 刘老师 联系人电话： 0571-87951842 邮政编码： 310000 电子邮件： liuyong.mse@zju.edu.cn 参考收费标准： 按学校有关标准