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扫描电子显微镜 |
分类编码: | 010102 |
英文名称: | Scanning Electron Microscope |
规格型号: | S-4800 |
分 类: | 分析仪器 |
所属单位: | 浙江师范大学 |
仪器原值: | 286.68(万元) |
启用日期: | 2006/11/17 |
生产厂商: | 日本日立高新技术公司 |
产地国别: | 日本 |
技术指标: | 二次电子分辨率:1.0nm(15kV),2.0nm(1kV);背散射电子分辨率:3.0nm(15kV);电子枪:冷场发射电子源;加速电压:0.5~30 kV(0.1 kV/步,可变);放大倍率:×30~×800000。X射线能谱仪的元素分析范围为Be4~U92。喷金喷碳装置可以通特定的气氛保护样品。 |
功能及应用领域: | 该电镜的电子发射源为冷场,物镜为半浸没式。在高加速电压(15kV)下,S-4800的二次电子图像分辨率为1nm,这是目前半浸没式冷场发射扫描电镜所能达到的最高水平。该电镜在低加速电压(1kV)下的二次电子图像分辨率为2nm,这有利于观察绝缘或导电性差的样品。S-4800的主要附件为X射线能谱仪。利用S-4800和X射线能谱仪可以在观察样品表面微观形貌的同时进行微区成分定性和定量以及元素分布分析。 |
仪器联系人: | 谢冠群/许春慧 |
联系人电话: | 0579-82282234 |
邮政编码: | 321004 |
电子邮件: | gqxie@zjnu.cn |
参考收费标准: | SEM:400元/小时; EDS:100元/样品; |