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| 原子层沉积系统 |
| 分类编码： | 120303 | | 英文名称： | Atomic layer deposition system | | 规格型号： | MNT-PD100Oz-L6S1G3 | | 所属单位： | 绍兴文理学院 | | 仪器原值： | 79.80(万元) | | 启用日期： | 2020/5/7 | | 生产厂商： | 江苏迈纳德微纳技术有限公司 | | 产地国别： | 中国 | | 技术指标： | 9100W/双腔体/衬底加热最高600℃/臭氧发生器/6路液态1路固态前驱体源/3路等离子体进气 | | 功能及应用领域： | 制备半导体电子器件中的薄膜材料 | | 仪器联系人： | 方泽波 | | 联系人电话： | 057588342415 | | 邮政编码： | 312000 | | 电子邮件： | 627783709@qq.com | | 参考收费标准： | 无 |
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