| 磁控溅射系统 |
| 英文名称： | sputtering deposition equipment | | 规格型号： | NANO 36 | | 所属单位： | 苏州大学 | | 仪器原值： | 79.98(万元) | | 启用日期： | 2015/10/6 | | 生产厂商： | 美国 Kurt J. Lesker | | 产地国别： | USA.美国 | | 安放地址： | 中国,江苏省,苏州市,吴中区 | | 技术指标： | 1. 16*16腔体 2.极限真空达到5*10E-7 3.1KW直流电源一台，300 W射频电源两台 4.向下溅射结构 | | 功能及应用领域： | 1.制备金属、半导体、绝缘体薄膜 2.制备金属、半导体纳米结构 | | 仪器联系人： | 吴祺昶 | | 联系人电话： | 025-85485877 |
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