低温化学气相沉积系统（LT-CVD）
分类编码：
120204
英文名称：
LT-CVD
规格型号：
Producer GT
所属单位：
中电海康集团有限公司
仪器原值：
2070.00(万元)
启用日期：
2017/10/25
生产厂商：
AMAT
产地国别：
新加坡
仪器联系人：
邢赟
邮政编码：
311305
