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| PECVD镀膜机 |
| 分类编码： | 120499 | | 英文名称： | PECVD | | 规格型号： | MESC MULTIPLEN CND | | 所属单位： | 浙江省光电磁传感技术研究重点实验室 | | 仪器原值： | 223.45(万元) | | 启用日期： | 2006/12/21 | | 生产厂商： | STS | | 产地国别： | 英国 | | 技术指标： | 样品台不小于8英寸， 具有水冷功能。 石英晶振膜厚控制系统，可自动稳定地控制蒸发速率以及最终膜厚。 | | 功能及应用领域： | 主要用于制备高质量介质、半导体、及金属薄膜 | | 仪器联系人： | 陈辉 | | 联系人电话： | 13706715599 | | 邮政编码： | 310058 | | 电子邮件： | chenhui0122@163.com | | 参考收费标准： | 无 |
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