高温氧化实现二氧化硅层、高温退火 联系人： 时尧成 电话： 88206516转113 邮件： yaocheng@zju.edu.cn 开放时间： 学校正常上班时间 收费标准： 500元/小时 服务描述： 温度范围：1100摄氏度 温度控制精度：~+/-0.2摄氏度>300摄氏度 升温时间：<60min 降温时间：从1000摄氏度降到100摄氏度小于45分钟