| 微加工工作台 |
| 分类编码： | 990101 | | 英文名称： | | | 规格型号： | 定制 | | 分 类： | 其他设备 | | 所属单位： | 宁波大学 | | 仪器原值： | 72.87(万元) | | 启用日期： | 2014/5/8 | | 生产厂商： | Newport | | 产地国别： | 美国 | | 安放地址： | 宁波大学龙赛理科北楼414 | | 技术指标： | 工作波长700-800nm，激光光斑：小于5mm，激光聚焦光斑小于1um。大范围运动：100mm*100mm*5mm，精度50nm，单向重复定位精度80nm，双向重复定位精度120nm，最大速度：300mm/s；精密纳米级3维运动系统：80um*8um*80um，精度2nm，单向重复定位精度30nm，双向重复定位精度50nm。 | | 功能及应用领域： | 双光子吸收微加工和紫外光刻。 | | 仪器联系人： | 潘雪丰 | | 联系人电话： | 13248624418 | | 电子邮件： | panxuefeng@nbu.edu.cn | | 开放机时安排： | 工作日 | | 参考收费标准： | 200元/小时 |
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