扫描电子显微镜 |
分类编码: | 010102 |
英文名称: | SEM |
规格型号: | *SU-1510 |
所属单位: | 宿州学院 |
仪器原值: | 124.79(万元) |
生产厂商: | 日本日立有限公司 |
产地国别: | 日本 |
安放地址: | 安徽省宿州市汴河中路49号宿州学院西区 |
技术指标: | 分辨率:SE探头:3.0nm;BSE探头:4.0nm;
加速电压:0.5~30 kV连续可调;
放大倍数:5~300000倍;
真空系统:高真空:不低于0.1mPa;
低真空:10Pa~270Pa;
真空泵系统:涡轮分子泵和机械泵各1台;
电子光学系统:电子枪:具有4级自动偏压功能;
灯丝:预对中钨丝灯;
物镜光阑:4孔可动式物镜光阑;
电气图像移动:±50um(WD=15mm)
样品室和样品台:样品台尺寸:装载直径≥150mm样品;
样品台:5轴样品台;
行程:X=80mm;Y=40mm;Z=45mm;R=360°;T=-20~+90°;
探测器及成像系统:二次电子探测器:二次电子像;
成像模式:同时得到二次电子像,背散射电子像,两者混合像;
系统保护:断电、失真空和停水保护。 |
功能及应用领域: | 扫描电子显微镜是利用电子和物质的相互作用,获取被测样品的形貌、组成、晶体结构等各种物理、化学性质的信息,已被广泛应用于包括纳米材料、薄膜材料、高分子材料、半导体、陶瓷等各种材料的表面显微形貌分析,是材料结构分析及各种物理机械性能测试表征必不可少的工具。电制冷X射线能谱仪是利用X射线的能量进行测量来确定物质化学成分。电制冷X射线能谱仪配合扫描电子显微镜使用可进行结构表征,还可应用于材料微区成分元素种类与含量分析。 |
仪器联系人: | 王闻琦 |
联系人电话: | 0557-2875680 |
邮政编码: | 234000 |
电子邮件: | szxynms@163.com |
参考收费标准: | 参考宿州学院大型科研仪器设备开放共享管理办法(校科字【2016】11号) |