扫描电子显微镜
分类编码:010102
英文名称:SEM
规格型号:*SU-1510
所属单位:宿州学院
仪器原值:124.79(万元)
生产厂商:日本日立有限公司
产地国别:日本
安放地址:安徽省宿州市汴河中路49号宿州学院西区
技术指标:分辨率:SE探头:3.0nm;BSE探头:4.0nm; 加速电压:0.5~30 kV连续可调; 放大倍数:5~300000倍; 真空系统:高真空:不低于0.1mPa; 低真空:10Pa~270Pa; 真空泵系统:涡轮分子泵和机械泵各1台; 电子光学系统:电子枪:具有4级自动偏压功能; 灯丝:预对中钨丝灯; 物镜光阑:4孔可动式物镜光阑; 电气图像移动:±50um(WD=15mm) 样品室和样品台:样品台尺寸:装载直径≥150mm样品; 样品台:5轴样品台; 行程:X=80mm;Y=40mm;Z=45mm;R=360°;T=-20~+90°; 探测器及成像系统:二次电子探测器:二次电子像; 成像模式:同时得到二次电子像,背散射电子像,两者混合像; 系统保护:断电、失真空和停水保护。
功能及应用领域:扫描电子显微镜是利用电子和物质的相互作用,获取被测样品的形貌、组成、晶体结构等各种物理、化学性质的信息,已被广泛应用于包括纳米材料、薄膜材料、高分子材料、半导体、陶瓷等各种材料的表面显微形貌分析,是材料结构分析及各种物理机械性能测试表征必不可少的工具。电制冷X射线能谱仪是利用X射线的能量进行测量来确定物质化学成分。电制冷X射线能谱仪配合扫描电子显微镜使用可进行结构表征,还可应用于材料微区成分元素种类与含量分析。
仪器联系人:王闻琦
联系人电话:0557-2875680
邮政编码:234000
电子邮件:szxynms@163.com
参考收费标准:参考宿州学院大型科研仪器设备开放共享管理办法(校科字【2016】11号)