三室复合薄膜沉积系统 |
分类编码: | 129900 | 英文名称: | 无 | 规格型号: | 无 | 所属单位: | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司/洛阳浮法玻璃集团有限责任公司 | 仪器原值: | 86.00(万元) | 生产厂商: | 沈阳科学仪器研制中心股份有限公司 | 产地国别: | 中国 | 安放地址: | 安徽省蚌埠市龙子湖区东海大道751号 | 技术指标: | 1、真空室极限真空1X10-5Pa;
2蒸发室极限真空1X10-5Pa;
3靶材尺寸直径60mm。 | 功能及应用领域: | 使用磁控溅射法制备各种薄膜 | 仪器联系人: | 李刚 | 联系人电话: | 0552-4074978 | 邮政编码: | 233000 | 电子邮件: | lgiwtbap@163.com | 参考收费标准: | 面议 |
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