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| 膜厚仪 |
| 分类编码： | 029900 | | 英文名称： | Opti-Probe | | 规格型号： | OP 2690/ OP 3260 | | 分 类： | 物理性能测试仪器 | | 所属单位： | 杭州士兰集成电路有限公司 | | 仪器原值： | 280.00(万元) | | 启用日期： | 2002/12/26 | | 生产厂商： | TENCOR | | 产地国别： | 美国 | | 安放地址： | 杭州士兰集成电路 | | 技术指标： | 对于薄的膜层测试精度±1 ?，对于厚的膜层测试精度±2 ? | | 功能及应用领域： | 测试各种膜质和膜层的膜厚，折射率，消光系数 | | 仪器联系人： | 程宏亮 | | 联系人电话： | 0571-86714088-7812 | | 电子邮件： | | | 开放机时安排： | 周一至周五 | | 参考收费标准： | 面谈 |
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