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| 全自动抛光解薄系统 |
| 分类编码： | 120401 | | 英文名称： | 无 | | 规格型号： | NBAM-2AL | | 分 类： | 工艺实验设备 | | 所属单位： | 浙江省固态光电器件重点实验室 | | 仪器原值： | 159.50(万元) | | 启用日期： | 2011/3/19 | | 生产厂商： | NTS株式会社 | | 产地国别： | 韩国 | | 技术指标： | TTV≤5um；BOW≤10um | | 功能及应用领域： | 硅片，蓝宝石，石英片等平坦化加工 | | 仪器联系人： | 李文忠 | | 联系人电话： | 0579-82297911 | | 邮政编码： | 321000 | | 电子邮件： | nmd_lwz@163.com | | 参考收费标准： | 300元/小时 |
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