高性能干法刻蚀设备 分类编码： 120302 英文名称： High performance dry etching device 规格型号： Mesc Multipler 分　　类： 工艺实验设备 所属单位： 浙江省光电磁传感技术研究重点实验室 仪器原值： 280.75(万元) 启用日期： 2006/12/21 生产厂商： 英国STS 产地国别： 英国 技术指标： 支持注入气体：N2，O2，SF6，C4F8，CF4等，泵浦系统：MP，DP，TMP，微波信号：13.56MHz，0-300W 功能及应用领域： 可编程逻辑，设备加载锁功能，支持3-6英寸基板尺寸，双通道进气 仪器联系人： 胡骏 联系人电话： 13588166596 邮政编码： 310058 电子邮件： hujun@zju.edu.cn 参考收费标准： 无