3D光学轮廓仪
英文名称:Optical Profiler
规格型号:S Neox
所属单位:苏州大学
仪器原值:64.58(万元)
启用日期:2014/9/12
生产厂商:西班牙Sensofar
产地国别:ESP.西班牙
安放地址:中国,江苏省,苏州市,吴中区
技术指标:干涉模式(横向分辨率500nm、纵向0.1nm);共焦模式(横向200nm、纵向2nm)
功能及应用领域:结合共聚焦技术与新纳米尺度高精度测量技术
仪器联系人:吴祺昶
联系人电话:025-85485877