PECVD镀膜机 分类编码： 120302 英文名称： 无 规格型号： MESC MULTIPLEN CND 分　　类： 工艺实验设备 所属单位： 浙江大学光电科学与工程学院 仪器原值： 223.00(万元) 启用日期： 2006/12/21 生产厂商： 英国STS 产地国别： 美国 技术指标： 淀积速率：>150nm/min(SiO2)；>100nm/min(SiN)；均匀性：<±5% 功能及应用领域： 可沉积厚达十几个微米的SiO2；淀积低应力SiN和SiON等介质膜 仪器联系人： 陈老师 联系人电话： 0571-88206525 邮政编码： 310000 电子邮件： sailing@zju.edu.cn 参考收费标准： 按学校有关标准