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超高分辨热场发射扫描电子显微镜
分类编码:010102
英文名称:Ultra-High Resolution Scanning Electron Microscopy
规格型号:NovaNano SEM 200
分  类:分析仪器
所属单位:温州大学纳米实验室
仪器原值:343.88(万元)
启用日期:2007/7/21
生产厂商:FEI公司
产地国别:亚洲
安放地址:温州市学院中路276号
技术指标:1. 分辨率 高真空模式 1.0nm @ 15kv;1.8nm @ 1kv;0.8nm @ 30kv(stem探测器);低真空模式 1.5nm @ 10kv(helix探测器);1.8nm @ 3kv(helix探测器);2. 加速电压 200v - 30kv,连续可调;3. 电子束流范围 0.3pa - 2
功能及应用领域:1)观测材料表面形貌;2)微区元素分析;3)电子束曝光制作微纳器件;4)纳米机械手原位测量纳米材料和器件的电学性能;5)STEM可观察5nm以下样品形貌。
仪器联系人:张礼杰
联系人电话:15957702232
电子邮件:ljzhang@wzu.edu.cn
开放机时安排:周一到周五
参考收费标准:按照温州大学相关规定执行