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超高分辨热场发射扫描电子显微镜 |
分类编码: | 010102 | 英文名称: | Ultra-High Resolution Scanning Electron Microscopy | 规格型号: | NovaNano SEM 200 | 分 类: | 分析仪器 | 所属单位: | 温州大学纳米实验室 | 仪器原值: | 343.88(万元) | 启用日期: | 2007/7/21 | 生产厂商: | FEI公司 | 产地国别: | 亚洲 | 安放地址: | 温州市学院中路276号 | 技术指标: | 1. 分辨率 高真空模式 1.0nm @ 15kv;1.8nm @ 1kv;0.8nm @ 30kv(stem探测器);低真空模式 1.5nm @ 10kv(helix探测器);1.8nm @ 3kv(helix探测器);2. 加速电压 200v - 30kv,连续可调;3. 电子束流范围 0.3pa - 2 | 功能及应用领域: | 1)观测材料表面形貌;2)微区元素分析;3)电子束曝光制作微纳器件;4)纳米机械手原位测量纳米材料和器件的电学性能;5)STEM可观察5nm以下样品形貌。 | 仪器联系人: | 张礼杰 | 联系人电话: | 15957702232 | 电子邮件: | ljzhang@wzu.edu.cn | 开放机时安排: | 周一到周五 | 参考收费标准: | 按照温州大学相关规定执行 |
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