双弯曲磁过滤阴极电弧复合磁控溅射镀膜装置 分类编码： 120599 英文名称： 无 规格型号： 研制 分　　类： 工艺实验设备 所属单位： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 仪器原值： 165.01(万元) 启用日期： 2010/12/31 生产厂商： 韩国J&L Tech.公司 产地国别： 中国 技术指标： 真空度和沉积速度 功能及应用领域： 材料表面沉积 仪器联系人： 柯培玲 联系人电话： 18968280016 邮政编码： 315201 电子邮件： kepl@nimte.ac.cn 参考收费标准： 无