热蒸发蒸镀镀膜机Evaporator 分类编码： 120304 英文名称： High Vacuum Evaporator 规格型号： ei-5Z 所属单位： 浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室 仪器原值： 200.00(万元) 启用日期： 2018/8/23 生产厂商： 爱发科真空技术（苏州）有限公司 产地国别： 中国 服务领域： 材料,生物医学,电子与测量 技术指标： 1) 配备电子束蒸发和热阻（钨舟）蒸发两种镀膜方式； 2) 配置红外辐照衬底加热系统，最高可将衬底加热至350度，片与片间的温度均匀性+/-10度以内； 3) 配置冷凝泵和干泵，镀膜前真空度最高可实现1E-5Pa； 4) 配置双石英晶振膜厚测量系统，可对最终厚度和沉积速率进行设定并控制； 5) 配置不同样品夹具，可对4，3，2英寸直径圆片进行镀膜； 6）金属和非金属薄膜蒸发，片内膜厚均匀性优于5%，片间和批次间膜厚均匀性优于5%； -->样品要求： 各种尺寸衬底均可镀膜，小尺寸样品需通过高温胶带粘在2寸或者4寸硅片上； 衬底须事先清洗，去除表面污染和颗粒物方可进入反应腔室； 衬底不得带有水分或者挥发性物质； 功能及应用领域： 1）4个电子束蒸发位和3个热阻蒸发位，可实现单一材料的镀膜，也可在真空不间断下进行多种类型膜层连续沉积； 2）红外辐照加热衬底系统，可实现衬底预加热去除表面水分子，也可在镀膜过程中对衬底进行持续加热提高薄膜致密度； 3）双石英晶振膜厚测量系统，可以精确控制薄膜沉积速率和最终沉积厚度； 4）可蒸镀铝、铜、钛、铬、金、银、铂、氧化硅、氧化铝、氧化锌等金属和非金属材料； 5) 多种规格样品尺寸挂架，可实现多片不同尺寸样品同时蒸发； -->服务内容： 薄膜沉积，样品制备，用户培训，技术咨询（未培训用户可代为制样，培训合格并授权用户可自行操作） 仪器联系人： 李西军 联系人电话： 0571-88119591 邮政编码： 310024 电子邮件： lixijun@westlake.edu.cn 参考收费标准： 校内600元/小时； 校外1200元/小时