激光直写仪 分类编码： 990000 英文名称： 无 规格型号： MicroWriterBaby ML 分　　类： 其他仪器 仪器原值： 66.82(万元) 启用日期： 2015/10/14 生产厂商： 英国Durham Magneto optics Ltd 产地国别： 中国 技术指标： 1. 最大加工芯片尺寸：直径≥100 mm，厚度≥ 5 mm 2. 直写激光分辨率小于2μm 3. 对准精度≤ 2 μm4. 405 nm波长激光功率≥110 mW5. 激光直写速度 ≥ 6mm2/min, 6. 自动对焦精度：200nm7. 寻址栅格：500nm 8. 最小步阶：100nm9. 边缘粗糙度@1μm ：120 nm 10. 线宽均匀性@1μm ：200 nm 11. 灰度直写阶数: 256级 12. 可识别设计文件格式：TIFF, CIF, BMP13. 控制系统：笔记本电脑，预装WIN7 64 bit操作系统，专用控制软件。14. 预留升级接口，可升级激光器、高分辨率光学显微镜等。 功能及应用领域： 激光直写系统可以在不需要掩模板的情况下，直接对光刻胶书写图案，从而使得激光刻蚀过程更加快捷方便，在研发初期可以大大缩短实验周期，节省时间。同时，这一设备具有256级灰阶，可以控制激光强弱，从而实现三维图形的曝光，可一次性得到不同高度的图形。 仪器联系人： 牟老师 联系人电话： 88208383 邮政编码： 310027 电子邮件： muying@zju.edu.cn 参考收费标准： 详情请联系仪器负责人