磁控溅射沉积涂层 联系人： 朱萍 电话： 13867899841 邮件： zhuping@nimte.ac.cn 开放时间： 可商定 收费标准： 650元/小时 服务描述： 采用双室磁控溅射系统，配有多种靶材（金属/陶瓷），多种电源(RF/MF/DC)，加热系统（< 800°C），高真空系统（<5*10^-5Pa）样品尺寸<100 mm，重量<500 g