冷场发射扫描电镜 分类编码： 010102 英文名称： FSEM 规格型号： S-4700（I） 分　　类： 分析仪器 所属单位： 杭州士兰集成电路有限公司 仪器原值： 200.00(万元) 启用日期： 2007/3/29 生产厂商： HITACHI 产地国别： 0102 安放地址： 杭州经济技术开发区10号路308号 技术指标： 分辨率：2.1nm(1KV)/1.5nm(15KV) 功能及应用领域： 微观形貌检测、成分检测 仪器联系人： 程宏亮 联系人电话： 0571-86714088-7812 电子邮件： 开放机时安排： 8:30--17:00 参考收费标准： 800元/小时