 |
| 聚焦离子束 |
| 分类编码： | 010199 | | 英文名称： | FIB | | 规格型号： | FIB 200 | | 分 类： | 分析仪器 | | 所属单位： | 杭州士兰集成电路有限公司 | | 仪器原值： | 200.00(万元) | | 启用日期： | 2007/9/1 | | 生产厂商： | FEI | | 产地国别： | 美国 | | 安放地址： | 杭州经济技术开发区10号路308号 | | 技术指标： | 分辨率7nm,修改0.15微米以上工艺IC | | 功能及应用领域： | 1.微观截面切割 2.定点切割 3.定点淀积 4.IC线路修改 | | 仪器联系人： | 程宏亮 | | 联系人电话： | 0571-86714088-7812 | | 电子邮件： | | | 开放机时安排： | 周一--周五 | | 参考收费标准： | 1500元/小时 |
|