
ADE
分类编码：	049901
英文名称：	ADE
规格型号：	9500
分　　类：	电子测量仪器
所属单位：	杭州士兰集成电路有限公司
仪器原值：	240.00(万元)
启用日期：	2002/12/1
生产厂商：	ADE
产地国别：	美国
安放地址：
技术指标：	厚度（±0.5μm）；平坦度（±0.15μm）；弯曲度和翘曲度（±3.0μm+读数的5%）
功能及应用领域：	硅片厚度，平坦度（点测试或整个硅片测试），形貌（弯曲度和翘曲度）
仪器联系人：	邓志涛
联系人电话：	0571-86714088-7813
电子邮件：
开放机时安排：	周一至周五
参考收费标准：	面议