半自动探针台 英文名称： Probe Tester 规格型号： SUMMIT 12000b-S 所属单位： 江苏物联网研究发展中心 仪器原值： 92.50(万元) 启用日期： 2015/4/1 生产厂商： Cascade 产地国别： USA.美国 安放地址： 中国,江苏省,无锡市,惠山区 技术指标： X-Y行程：203mm×203 mm  X-Y分辨率：±1um X-Y重复性：≤2um  X-Y定位精度：≤2.5um X-Y移动速率：>50mm/sec Z轴起落间距：5mm  Z轴起落分辨率：1um Z轴起落重复率：≤1um 功能及应用领域： 在片测试探针系统，为MEMS或IC芯片的晶圆级测试提供自动化平台，能满足200mm和150mm晶圆的测试需求。 仪器联系人： 吴祺昶 联系人电话： 025-85485877