高性能干法刻蚀设备
规格型号：
Mesc Multipler
所属单位：
浙江大学
生产厂商：
英国STS
技术指标：
支持注入气体：N2，O2，SF6，C4F8，CF4等，泵浦系统：MP，DP，TMP，微波信号：13.56MHz，0-300W
功能及应用领域：
可编程逻辑，设备加载锁功能，支持3-6英寸基板尺寸，双通道进气
联系人电话：
057188981125
参考收费标准：
无