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| 精密三维移动平台 |
| 分类编码： | 020199 | | 英文名称： | Precision 3d mobile platform | | 规格型号： | IMS500 | | 分 类： | 物理性能测试仪器 | | 所属单位： | 浙江省计量科学研究院 | | 仪器原值： | 35.50(万元) | | 启用日期： | 2016/6/1 | | 生产厂商： | NEW PORT | | 产地国别： | 美国 | | 技术指标： | MPE：单轴定位误差优于±1.0μm，单轴重复定位误差优于±0.5μm；500mm×500mm×500mm | | 功能及应用领域： | Newport精密控制，提供三坐标移动自由度，最大行程500mm，定位精度0.1um | | 仪器联系人： | 王锴毅 | | 联系人电话： | 0571-85027161 | | 邮政编码： | 310018 | | 电子邮件： | zjim@163.com | | 参考收费标准： | 检定、校准、检测按院对外公告的收费标准执行，其它技术服务双方协议定费 |
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