激光直写仪 分类编码： 990000 英文名称： Laser Direct Writing 规格型号： EUR 211111 分　　类： 其他仪器 所属单位： 浙江师范大学 仪器原值： 190.00(万元) 启用日期： 2010/7/1 生产厂商： Stella I C L 产地国别： 中国 技术指标： 刻写最大面积 200 x 200 mm2 ，焦距离达到 0.6 µm ，•最小分辨距离50 nm。 功能及应用领域： 用于MEMS, BioMEMS, Micro Optics, ASICs, Micro Fluidics, Sensors, CGHs和其他微观研究领域。 仪器联系人： 吴琼 联系人电话： 0579-82298863 邮政编码： 321004 电子邮件： optic@zjnu.cn 参考收费标准： 200元/小时或样品