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| 电子束蒸发镀膜系统 |
| 分类编码： | 120303 | | 英文名称： | E-beam Evaporation Coating System | | 规格型号： | 极限真空度：小于等于6.67*10-5PA | | 分 类： | 工艺实验设备 | | 所属单位： | 浙江大学航空航天学院 | | 仪器原值： | 80.00(万元) | | 启用日期： | 2017/12/7 | | 生产厂商： | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | | 产地国别： | 中国 | | 技术指标： | 极限真空度：小于等于6.67*10-5PA；真空检漏率小于等于5.0*10-7PA.1/s | | 功能及应用领域： | 主要实现薄膜材料的制备，可在柔性衬底和刚性衬底上沉积金属，非金属、半导体等各种材料薄膜。 | | 仪器联系人： | 宋吉舟 | | 联系人电话： | 18757118983 | | 邮政编码： | 310027 | | 电子邮件： | jzsong@zju.edu.cn | | 参考收费标准： | 校内：300元/小时；校外：600元/小时[浙大校办（2000）18号] |
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