去胶机 分类编码： 120302 英文名称： 无 规格型号： Tsir-100 分　　类： 工艺实验设备 所属单位： 浙江省固态光电器件重点实验室 仪器原值： 36.30(万元) 启用日期： 2013/12/16 生产厂商： 聚昌科技 产地国别： 中国 技术指标： 控制方式：智能全自动控制；工作压力：30～300Pa ； 射频电源：600 watt output @ 13.56 MHz 功能及应用领域： 用于光刻显影后残留光刻胶的处理；少量有机物的等离子清洗；表面活化等 仪器联系人： 马云 联系人电话： 15068050892 邮政编码： 312004 电子邮件： mayun@zjnu.cn 参考收费标准： 200每样品