准分子气体脉冲激光器
英文名称：
KrF Pulsed Excimer Laser
规格型号：
COMPexPro201
所属单位：
苏州科技大学
仪器原值：
76.09(万元)
启用日期：
2013/3/28
生产厂商：
Coherent
产地国别：
USA.美国
安放地址：
中国,江苏省,苏州市,虎丘区
技术指标：
248 nm 700 mJ
功能及应用领域：
发出248nm激光
仪器联系人：
吴祺昶
联系人电话：
025-85485877