晶圆拆键合机
英文名称:Wafer DeBonder
规格型号:1300DB
所属单位:江苏物联网研究发展中心
仪器原值:325.75(万元)
启用日期:2014/2/28
生产厂商:Brewer Science
产地国别:USA.美国
安放地址:中国,江苏省,无锡市,惠山区
技术指标:8寸晶圆临时键合的解键合
功能及应用领域:8寸晶圆临时键合的解键合
仪器联系人:吴祺昶
联系人电话:025-85485877