晶圆拆键合机
英文名称:
Wafer DeBonder
规格型号:
1300DB
所属单位:
江苏物联网研究发展中心
仪器原值:
325.75(万元)
启用日期:
2014/2/28
生产厂商:
Brewer Science
产地国别:
USA.美国
安放地址:
中国,江苏省,无锡市,惠山区
技术指标:
8寸晶圆临时键合的解键合
功能及应用领域:
8寸晶圆临时键合的解键合
仪器联系人:
吴祺昶
联系人电话:
025-85485877