电子束蒸发镀膜机 英文名称： Electron beam evaporator 规格型号： KJLC PVD 75 所属单位： 苏州大学 仪器原值： 115.09(万元) 启用日期： 2011/3/26 生产厂商： KURT J.LESKER COMPANY 产地国别： USA.美国 安放地址： 中国,江苏省,苏州市,吴中区 技术指标： 1.基片尺寸≤Ф12英寸         2.电子枪功率：5-10KW 3.极限真空度：5×10-5Pa        4.真空抽速：3×10-4Pa/20min 5.衬底温度：350℃            6.温度均匀性：±10℃          7.样平台转速：≤20r/min      8.坩埚数量：4    9.镀膜均匀性：±5%（Al）    10.控制系统：PC+PLC全自动控制 功能及应用领域： 电子蒸发镀膜机是一种普适镀膜机，用于镀制各种单层膜、多层膜。可镀各种硬质膜、金属膜。主要用于制备纳米器件、有机光电器件的金属电极，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。 仪器联系人： 吴祺昶 联系人电话： 025-85485877