光刻键合对准系统
规格型号:H94-30型
所属单位:浙江大学
生产厂商:四川南光真空科技有限公司
技术指标:"曝光面积:110×110mm;曝光照度不均匀性:≤3%;曝光强度:≥40mw/cm2可调;显微系统: 1)正面对准采用双视场CCD立式显微镜,总放大倍数45X~300X(物镜放 大倍数1.1X~7.5X连续变倍),双物镜可调距离11mm~100mm。扫描范围:X±40mm ,Y±35mm; 2)反面对准采用双视场CCD卧式显微镜:总放大倍数60X、120X两种(物 镜放大倍数2X、4X两种),双物镜可调距离25mm~70mm; 3)两种显微镜共用一套计算机图像处理系统。 "
功能及应用领域:"可以用于集成电路 半导体器件 声表面波器件的制备 "
联系人电话:057188981125
参考收费标准:[浙大校办(2000)18号]