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| 隧道结刻蚀和保护薄膜一体机 |
| 分类编码： | 120302 | | 英文名称： | MTJ Etch and Passivation | | 规格型号： | Raptor+Tarian | | 所属单位： | 中电海康集团有限公司 | | 仪器原值： | 5150.00(万元) | | 启用日期： | 2017/11/6 | | 生产厂商： | AMAT | | 产地国别： | 美国 | | 技术指标： | 刻蚀后MTJ CD均一性（1σ）：< 2%；多余副产物再沉积：透射电子显微镜中不可见；刻蚀后轮廓角： 80°≤Angle≤90°（位元间隔320nm） | | 功能及应用领域： | MTJ刻蚀和保护 | | 仪器联系人： | 殷标 | | 联系人电话： | 15261870733 | | 邮政编码： | 311305 | | 电子邮件： | yinbiao@hikstor.com | | 参考收费标准： | 暂无 |
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