化学机械抛光机（CMP）
分类编码：
120302
英文名称：
CMP
规格型号：
LK Prime System
所属单位：
中电海康集团有限公司
仪器原值：
4000.00(万元)
启用日期：
2017/10/25
生产厂商：
AMAT
产地国别：
美国，新加坡
仪器联系人：
邢赟
邮政编码：
311305
