高温退火氧化炉 分类编码： 120499 英文名称： High temperature annealing oxidation furnace 规格型号： PEO 601 所属单位： 浙江省光电磁传感技术研究重点实验室 仪器原值： 61.50(万元) 启用日期： 2014/4/22 生产厂商： 德国 ATV Technologie GmbH 产地国别： 德国 技术指标： 温度范围：1100摄氏度 温度控制精度：~+/-0.2摄氏度>300摄氏度 升温时间：<60min 降温时间：从1000摄氏度降到100摄氏度小于45分钟 功能及应用领域： 该工艺炉的主要功能包括：高温氧化实现二氧化硅层、高温退火 仪器联系人： 何赛灵 联系人电话： 88206513 邮政编码： 310058 电子邮件： sailing@zju.edu.cn 参考收费标准： 无