准分子激光器 英文名称： Excimer laser 规格型号： COMPEXPR0102 所属单位： 盐城工学院 仪器原值： 66.10(万元) 启用日期： 2017/6/23 生产厂商： 江苏汉唐国际贸易集团有限公司 产地国别： CHN.中国 安放地址： 中国,江苏省,盐城市,亭湖区 技术指标： 适用于曝光方面应用,如光掩膜版的制作、检查和量测。输出能量为16mJ的248nm激光（KrF型号）和6mJ的193nm激光（ArF型号）。激光器由严格的标准组件构成,可单侧打开进行激光头维修,容易与大多数工作站进行组合使用。 功能及应用领域： 分析仪器、物理性能测试仪器 仪器联系人： 吴祺昶 联系人电话： 025-85485877