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镀膜系统 |
分类编码: | 990000 | 英文名称: | 无 | 规格型号: | CF800M-6 | 所属单位: | 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室 | 仪器原值: | 428.53(万元) | 启用日期: | 2016/12/21 | 生产厂商: | 无 | 产地国别: | 英国 | 技术指标: | 镀膜空间: Φ900mm×800mm;沉积温度:140-400℃;装炉质量:0-250kg;镀膜周期:4-10h | 功能及应用领域: | 闭合场非平衡磁控溅射(Closed field unbalanced magnetron sputter);6靶磁控溅射(Six magnetrons) | 仪器联系人: | 王春婷 | 联系人电话: | 18968367107 | 邮政编码: | 315201 | 电子邮件: | wangchunting@nimte.ac.cn | 参考收费标准: | 无 |
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