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镀膜系统
分类编码:990000
英文名称:
规格型号:CF800M-6
所属单位:浙江省海洋材料与防护技术重点实验室
仪器原值:428.53(万元)
启用日期:2016/12/21
生产厂商:
产地国别:英国
技术指标:镀膜空间: Φ900mm×800mm;沉积温度:140-400℃;装炉质量:0-250kg;镀膜周期:4-10h
功能及应用领域:闭合场非平衡磁控溅射(Closed field unbalanced magnetron sputter);6靶磁控溅射(Six magnetrons)
仪器联系人:王春婷
联系人电话:18968367107
邮政编码:315201
电子邮件:wangchunting@nimte.ac.cn
参考收费标准: