电子束曝光系统 分类编码： 990000 英文名称： 无 规格型号： ELPHY Quantum 分　　类： 其他仪器 所属单位： 浙江大学光电科学与工程学院 仪器原值： 247.00(万元) 启用日期： 2014/5/15 生产厂商： Raith 产地国别： 荷兰 技术指标： PCI板嵌入系统，2.5 MHz像素到像素频率； 2 *16 bit DAC，10 bit、0.5微秒AD通道用于图像获取； TTL驱动电子束闸控制。 功能及应用领域： 基于扫描电镜安装的电子束曝光系统，利用电子束对传统抗蚀剂的曝光作用，加工出图形分辨率高、线条边缘陡直的微纳尺寸图形；它由硬件和软件组成。PC机通过图形发生器和数模转换电路驱动扫描电镜的扫描线圈，使电子束偏转并控制电子束闸的通断，从而实现纳米图形的直接刻写。 仪器联系人： 龚老师 联系人电话： 0571-87951628 邮政编码： 310000 电子邮件： qiangli@zju.edu.cn 参考收费标准： 按学校有关标准