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冷场发射扫描电镜
分类编码:010102
英文名称:
规格型号:S-4700(I)
分  类:分析仪器
所属单位:杭州士兰集成电路有限公司
仪器原值:235.00(万元)
启用日期:2007/3/1
生产厂商:日立
产地国别:0102
安放地址:杭州士兰集成电路
技术指标:分辨率:2.1nm(1KV) 1.5nm(15KV W.D.=12mm)
功能及应用领域:1、形貌观测; 2、成分分析;
仪器联系人:程宏亮
联系人电话:0571-86714088-7812
电子邮件:
开放机时安排:周一至周五
参考收费标准: