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冷场发射扫描电镜 |
分类编码: | 010102 | 英文名称: | | 规格型号: | S-4700(I) | 分 类: | 分析仪器 | 所属单位: | 杭州士兰集成电路有限公司 | 仪器原值: | 235.00(万元) | 启用日期: | 2007/3/1 | 生产厂商: | 日立 | 产地国别: | 0102 | 安放地址: | 杭州士兰集成电路 | 技术指标: | 分辨率:2.1nm(1KV) 1.5nm(15KV W.D.=12mm) | 功能及应用领域: | 1、形貌观测; 2、成分分析; | 仪器联系人: | 程宏亮 | 联系人电话: | 0571-86714088-7812 | 电子邮件: | | 开放机时安排: | 周一至周五 | 参考收费标准: | |
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