离子束刻蚀系统
分类编码：
010101
英文名称：
无
规格型号：
LSK400
分 类：
分析仪器
所属单位：
理学院
仪器原值：
35.00(万元)
启用日期：
2009/10/1
生产厂商：
沈阳科友真空技术有限公司
产地国别：
中国
技术指标：
无
功能及应用领域：
薄膜器件加工
仪器联系人：
王顺利
联系人电话：
86843227
邮政编码：
310018
电子邮件：
slwang@zstu.edu.cn
参考收费标准：
180
