| 聚焦离子束纳米制备和加工系统 |
| 规格型号： | Quanta 3D FEG | | 所属单位： | 浙江大学 | | 生产厂商： | 德国Carl Zeiss公司 | | 技术指标： | 可用于电子束高分辨成像（0.8nm@15kv）、离子束高分辨成像（2.5nm@30kv）观察纳米材料的表面形貌，可进行纳米级别复杂图案加工，包括离子束切割、电子束与离子束沉积等，可制备特殊的纳米结构。 | | 功能及应用领域： | "可用于电子束高分辨成像（0.8nm@15kv）、离子束高分辨成像（2.5nm@30kv）观察纳米材料的表面形貌，可进行纳米级别复杂图案加工，包括离子束切割、电子束与离子束沉积等，可制备特殊的纳米结构。 " | | 联系人电话： | 057188981125 | | 参考收费标准： | 校内：1200元/小时；校外：1800元/小时 |
|