原子沉积系统 分类编码： 011299 英文名称： 规格型号： SIALD 分　　类： 分析仪器 所属单位： 温州大学纳米实验室 仪器原值： 160.00(万元) 启用日期： 2013/9/16 生产厂商： SENTECH 产地国别： 亚洲 安放地址： 温州大学学院路1号楼纳米实验室 技术指标： 基片尺寸： 370*470mm； 加热温度：200―300℃； 均匀性： <+/-1%； 前驱体数：2路； 兼容性： 可兼容100级超净室 功能及应用领域： 半导体领域：晶体管栅极电介质层（高k材料），光电元件的涂层，晶体管中的扩散势垒层和互联势垒层（阻止掺杂剂的迁移），有机发光显示器的反湿涂层和薄膜电致发光(TFEL)元件，集成电路中的互连种子层，DRAM和MRAM中 仪器联系人： 杨克勤 联系人电话： 13506576034 电子邮件： 无 开放机时安排： 周一到周五 参考收费标准： 按照温州大学相关规定执行