激光测振仪 英文名称： Opto scanner 规格型号： MSA500 所属单位： 江苏物联网研究发展中心 仪器原值： 294.55(万元) 启用日期： 2012/9/1 生产厂商： POLYTEC INC. 产地国别： USA.美国 安放地址： 中国,江苏省,无锡市,惠山区 技术指标： 非共面测量最大频率： 1MHz 非共面测量速度分辨率：<1um/s 非共面位移测量精度：1 picometer 面内测量的频率范围：1Hz~1MHz 面内测试位移分辨率：1nm 形貌测试像素分辨率：0.5um 形貌测试Z方向分辨率：<1nm 功能及应用领域： 异面振动测量的激光多普勒技术； 共面振动测量的频闪成像技术； 三维形貌测量的白光干涉技术； 仪器联系人： 吴祺昶 联系人电话： 025-85485877