氦离子成像显微镜 分类编码： 010899 英文名称： Helium ion microscopy 规格型号： ORION NanoFab 所属单位： 浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室 仪器原值： 994.00(万元) 启用日期： 2018/8/23 生产厂商： Zeiss 产地国别： 德国 服务领域： 材料,生物医学,电子与测量 技术指标： 1. 氦离子束：分辨率≤ 0.5 nm, 加速电压10-30 kV，束流强度0.1 pA- 100 pA； 2. 氖离子束：分辨率≤ 1.9 nm, 加速电压10-25kV，束流强度0.1 pA - 50 pA； 3. 镓离子束：分辨率≤ 3nm, 加速电压1-30 kV，束流强度1 pA - 100 nA； 4. 成像模式：二次电子。 功能及应用领域： 1. 可以快速加工纳米结构，加工精度10nm； 2. 电子束曝光； 3. 沉积材料：Pt、W、H2O等； 4. 微观形貌观察。 仪器联系人： 李西军 联系人电话： 0571-88119591 邮政编码： 310024 电子邮件： lixijun@westlake.edu.cn 参考收费标准： 校内1200元/小时； 校外2400元/小时