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扫描式电子显微镜
分类编码:010102
规格型号:FEI Quanta250
分  类:扫描电镜
仪器原值:134.80(万元)
启用日期:2017/11/29
生产厂商:FEI\EDAX
产地国别:捷克
技术指标:整套设备包括:高分辨肖特基场发射扫描电子镜筒;二次电子(SE)成像;样品室真空度在高真空模式下优于6×10-4Pa,低真空模式下10Pa~130Pa,环境真空模式下10Pa~2600Pa;探测器高真空模式二次电子探头,低真空模式二次电子探头,环境真空下的气体二次电子检测器,样品室红外CCD相机,环形定向背散射电子探头;样品室内径284mm,分析工作距离10mm,8个探测器,4轴自动马达台;图像处理为单幅或四幅图像显示,四幅图像动态显示;系统控制为WINDOWS XP操作系统。
功能及应用领域:通过仪器电子枪发射出来的电子束,在加速电压的作用下经过磁透镜系统会聚,聚焦在事先镀了一层导电介质的样品表面上,在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下,电子束在样品上做光栅状扫描,同时同步探测入射电子和研究对象相互作用后从样品表面散射出来的电子和光子,获得相应样品的表面形貌和成分分析。通过xT microscope Control和xT microscope server软件可以执行以下试验:微观结构成像,化学元素组成成分分析等。
仪器联系人:王志伟