椭圆偏振光谱仪（Semilab GES5E） 联系人： 刘涌 电话： 13858040964 邮件： liuyong.mse@zju.edu.cn 开放时间： 每周四 收费标准： 500元/样 服务描述： 扫描光谱范围深紫外至中红外，不小于200nm～1700nm，分辨率不低于3.0nm； 连续自动可调的量角器，角度覆盖范围不低于55o~90o，步进马达精度不低于0.05o； 光斑直径低于5mm，微光斑直径低于500μm； 配有X-Y方向自动调节样品台，透射样品台，液体池，数据分析用软件。具有CCD快速测量模式（光谱范围为190nm~990nm，主波为632.8nm，波长分辨率为0.8nm）和PMT高分辨模式（光谱范围为190nm~2000nm，主波为632.8nm，波长分辨率为0.5nm）。起偏臂和检偏臂均能在45°~90°范围内自由旋转，精度为0.1°；样品台在X、Y、Z轴方向自由移动，移动精度0.01mm；配备可变温样品台，温度上限为600℃；配备感应电流仪实现薄膜方电阻的测量。