叠层—原子层沉积系统 分类编码： 990000 英文名称： 无 规格型号： MNT-PD100OZ-L3S 所属单位： 浙江浙能技术研究院有限公司 仪器原值： 71.20(万元) 启用日期： 2020/9/30 生产厂商： 江苏迈纳德微纳技术有限公司 产地国别： 中国 服务领域： 能源 技术指标： 检测范围1000-2.3*10-4 Torr 功能及应用领域： 具有热ALD沉积氧化物、氮化物、贵金属等薄膜材料的功能 仪器联系人： 孙靖淞 联系人电话： 057186605533 邮政编码： 311121 电子邮件： sunjingsong@zjenergy.com.cn 参考收费标准： 自行协商